因为干法清洗方式能够不破坏芯片表面材料特性和导电特性就可去除污染物，张家界等离子体旋转电极设备生产企业所以在众多清洗方式中具有明显优势，其中等离子体清洗优势明显，具有操作简单、精密可控、无需加热处理、整个工艺过程无污染以及安全可靠等特点，在半导体封装领域中获得了大规模的推广应用。半导体封装工艺 微电
