等离子体表面处理装置的机理和原理分析:等离子体表面处理装置是利用低温等离子体形成低温等离子体进行表面改性的设备。通过向物体加热,等离子体催化的概念或加速电子、离子等,这种中和的有机物质被电离,形成许多带电粒子(电子、离子)和中和粒子的混合物,称为低温等离子体。等离子体整体上是电中性的,是有机物除固体