化学清洗：表面反应以化学反应为主的等离子清洗。也称为PE。例1：O2+e-→2O*+eO*+有机物→CO2+H2O 从反应式可以看出，等离子体临界密度怎么算氧等离子体可以通过化学反应将非挥发性有机物转化为挥发性H2O和CO2。例2：从H2+e-→2H*+eH*+非挥发性金属氧化物→金属+H2O反应方
