这也与放电功率、气体成分、流速和材料类型等因素有关。这种等离子表面处理装置具有三个显着特点。 1.等离子表面处理设备会产生辉光现象，等离子体 卷对卷通常称为电弧放电。由于是真空紫外线，对蚀刻速度有非常积极的影响。 2. 气体中含有中性粒子、离子和电子。中性粒子和离子的温度为102～103K，与电子能
