通常的频率是13.56MHz和2.45GHZ。2,调整适当的力量:至于所需数量的天然气,权力很大,等离子体中活性粒子的密度也大,和脱胶速度快;然而,功率增加到一定值时,活性离子反应达到完全消耗,无论多么大的力量,脱胶速度无明显提高。由于功率大，附着力变小科四基片温度高，功率应根据技术要求进行调整。三
