135-3805-8187
福建等离子设备哪里找(福建等离子清洗装置罗茨真空泵功能)

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这导致嵌段共聚物填充先前定义的图案,福建等离子设备哪里找在图案的边界处发生相变,然后逐渐扩散到体内。一个功能对我们有用。如果最初定义的接触孔直径为68nm,这种方法可以将第二次定义后的接触孔缩小到20nm。同时,可以利用之前图案的不同形貌,调整嵌段共聚物的形貌,实现不同形状、大小甚至不同密度的接触孔