等离子表面处理机利用等离子对材料表面进行处理，福州真空等离子清洗设备上旋片真空泵功能达到了传统表面处理方法无法达到的效果。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、原子、活化基团、激发态（亚稳态）和光子。等离子表面处理机利用这些活性成分的特性对样品表面进行处理，达到清洁和表面活化的功能目标。目前，等离子
