当工作气体为氩气、氮气、氢氮、氢氩时，硬板等离子表面处理常用铈钨或钍钨阴极;当工作气体为空气或纯氧时，可用锆或水冷铜作阴极。低温真空大气等离子体表面处理机(等离子清洗机、等离子体)服务区域:服务热线:转换失败。等离子清洗机可用于清洗、蚀刻、活化和表面制备等，可选用40KHz、13.56mhz和2.4
