一、绝缘处理——等离子体表面处理装置修饰有机硅表面,增强二氧化硅表面附着力增强材料的相容性。电荷首先在半导体与绝缘体的接触面上积聚和转移。为了保证栅电极与有机化学半导体之间的栅漏电流小,就要求绝缘资料具有高的电阻,也就是要求绝缘好。目前常用的保温资料首先是无机保温,如氧化层等。在此期间,二氧化硅一般