源离子注入也可以通过镀膜晶圆或低温等离子表面处理设备来实现。晶圆表面及表面的氧化膜、去除有机物、掩膜等超细化处理。 Activation () 提高了晶片表面的润湿性。 , 等离子等离子清洗机重塑活化（化学）设备是一种干洗设备，石家庄等离子机械清洗机不仅可以清洁产品，还可以激发蚀刻、灰化和表面活性，
