在晶圆光刻胶去除的实际应用中，厦门真空等离子清洗设备上旋片真空泵生产厂家基本都会采用感应耦合式的真空低压等离子清洗机，这种类型的等离子清洗机仿佛也逐渐成为半导体行业的专属，那么这类等离子清洗设备的结构和一般常见的等离子处理设备有什么不同的地方呢？ 等离子清洗机感应放电等离子体是通过将射频功率加在一个
