3 低压等离子体发生器一般为低压气体放电装置，真空等离子清洗机公司由产生等离子体的电源、放电室、真空系统、工作气体（或反应气体）供给系统三部分组成。通常有四类。静电放电装置、高压电晕放电装置、高频（射频）放电装置、微波放电装置。。等离子体与表面的相互作用主要涉及以下基本过程： 1）吸附和解吸。在等离
