与其他放电方式相比，直流等离子体化学气相沉积法脉冲电晕还具有以下优点： (1) 脉冲电晕可以在较高的脉冲电压下工作，这与直流电晕不同，直流电晕倾向于在稍高的电压下转向火花放电。比直流电晕高几个数量级；（2）由于电晕面积大，高压作用下放电空间内电子密度高，空间电荷效应也明显，电子分布反应中的面积趋于均
