等离子体表面处理器中等离子体中带电粒子之间的相互作用非常活跃，白碳黑干法表面改性利用这一特性可以实现各种材料的表面改性。等离子体技术在表面技术中的应用，主要应用在以下几个方面，等离子体清洗机。1.等离子体在电子工业中的应用：过去大规模集成电路芯片芯的生产工艺采用化学法，而被等离子体法取代后，不仅降低
