亚级去污（通常为 3-30 nm 厚）可提高表面活性。必须采用不同的清洗工艺来处理不同的污染物，白墨附着力不好以达到最佳的清洗效果。与传统等离子清洗系统相比，材料在线自动化处理的设计要求减少了人工处理，提高了设备的自动化水平。。当等离子体与壁和电极接触时，会在界面处形成电中性被破坏的薄层。等离子
