等离子体清洗与常规的化学清洗相比具有如下优势: 1) 等离子体清洗时不需要加热处理, 在常温或低温环境都具有高效的清洗效果; 2) 等离子体避免了湿式化学清洗中应用酸、碱或有机溶剂等物质带来的腐蚀等危险, 安全可靠; 3) 等离子体清洗无废液产生, 保护环境。等离子蚀刻（点击查看详情）是去除表面种子
