目前，电路板plasma清洗设备基于碳纳米管的纳米电子器件的研发备受关注，如果能够在低温下现场生产碳纳米管，将纳米电子器件与传统微电子加工技术相结合，将有可能实现超大容量。增加。超大型集成电路。 4. 等离子体增强化学气相沉积条件对氮化硅薄膜性能的影响 氮化硅薄膜是具有优异物理和化学性能的介电薄膜。
