目前,电路板蚀刻机工作原理湿法刻蚀系统主要用于残渣去除、浮硅去除、大规模图形刻蚀等,具有设备简单、选材比例高、对器件损伤小等优点。湿法刻蚀工艺具有温度低、效率高、成本低等优点。在湿法刻蚀过程中,可有效去除硅片上的磷硅玻璃和金属离子,并可一次性完成钝化清洗去除杂质,提高硅片的使用效率。湿法蚀刻系统是通