通过实验,电解蚀刻机电压多少伏这两种方法是可行的。对于凹凸形状的零件,研究了气层厚度和电场强度对零件表面空间位置和形状的影响。研究了一种特殊形状零件的抛光工艺。结合电液低温等离子研磨技术和研究成果,设计了电解液低温等离子研磨装置,生产加工了多种材料的零件,为该技术的工业化应用提供了参考。低温等离子体