电晕产生的高能粒子（轰击正离子）在强电场作用下加速向硅片表面移动。在这些例子中，电线电缆专用电晕处理机通过溅射蚀刻去除硅片的未保护表面材料，从而完成部分硅蚀刻。。电晕产生的机理包括电离反应、带电粒子输运和电磁运动学。电晕的产生和气化过程中伴随着电子、粒子和中性粒子的碰撞反应。这里简单列出电晕在电线/
