由于 CD 控制能力对于图形的进一步小型化和大规模生产更为重要，电泳表面附着力的检验方法因此该行业倾向于使用等离子清洁剂、等离子表面处理和各向异性蚀刻方法。因此，为解决氮化钛残渣与选择性比之间的矛盾，提出了有机基板的部分去除方案。在该方案中，通过控制有机衬底的开放时间，在沟槽中留下足够的有机物来保护
