基本操作过程将待处理物放在支架或电极上，电晕机的超温设定关闭反应室门；然后抽真空至设定的背底真空值，通入相应的工艺气体，真空度保持在20-Pa范围内；接下来，启动电源形成电晕与产品或材料进行物理或化学反应，包括电晕清洗、电晕活化、电晕刻蚀、电晕聚合；整个反应完成后，通入压缩空气或氮气，使空气破碎，取
