目前主要用于半导体行业的清洗。射频电晕；射频放电通常在低电压下工作，电晕机的生产厂家也可以在常压下甚至加压下工作，其特点是放电气体不与电极接触。射频放电是利用高频电场将反应器内的气体放电，通过电感或电容的突变产生电晕。射频单电极放电能量高、放电范围广，已广泛应用于材料的表面处理和有毒废物的去除与裂解
