由于RB-SiC材料具有许多优异的性能，电晕处理设备怎么连接冲击架为材料的表面光学质量提出了一个更强的标准。SiC的加工方法有电化学刻蚀、机械加工、超声加工、激光刻蚀、电晕刻蚀等。化学离子刻蚀(RIE)、电子器件回旋共振(ECR)和电感耦合电晕(ICP)是电晕发生器中的一种。ICP刻蚀装置具有选择性
