在电晕中,电晕处理机结构原理存在着以下物质:处于高速运动过渡态的电子,处于激发过渡态的中性原子、分子和原子团(自由基);电离的原子、分子、分子解离反应时产生的紫外线、未反应的分子、原子等,但物质整体保持电中性。电晕清洗的机理主要依靠电晕中活性粒子的“活化”来去除物体表面的污渍。由于非平衡电晕机中电子