从处理前后ITO膜的化学成分、晶体结构、透光率和耐阻塞性分析可知，电晕处理机操作说明未经处理的ITO表层含有与碳相关的残留污染物；设备经电晕清洗后，峰值强度明显下降，说明电晕处理可以有效去除ITO表面层的有机污染物。电晕清洗设备不仅降低了ITO表面层的碳浓度，而且提高了ITO表面层的氧浓度。从而改进
