等离子体功率增加时,系统在高能电子密度和平均能量增加,高能电子、C2H6弹性和非弹性碰撞概率的分子和传递能量的增加,C2H6 C - H键和C - C键断裂概率增加,裂缝也增加自由基的浓度,其中由自由基形成的化合物形成的积概率增加。因此，电子电路等离子除胶机C2H6的转化率和产率随等离子体功率的增加
