当电子通过本征值范围为1V的电场时,电子电路清洁机电子从电场中获得的能量为W=1eV。 , 对应的温度为 11600K。通常,电子与电子碰撞达到热力学平衡的温度称为 Te 或电子温度。当等离子表面处理装置的离子发生碰撞时,达到热力学平衡的温度为Ti,即离子温度。事实上,Te 和 Ti 通常是不同的。