超声波清洗主要是基于空化作用来达到清洗的目的，属于亲水性材料有属于湿法处理，清洗时间长，而且取决于清洗液的清洗性能，增加了废液的处理。目前广泛应用的工艺主要是等离子体清洗工艺，等离子体处理工艺简单、环保、清洗效果明显，对于盲孔结构非常有效。等离子体清洗是指高活性等离子体在电场作用下的定向运动，与孔壁
