由此产生的离子和自由基继续相互碰撞，物理表面改性方法有哪些并被电场加速。并与材料表面发生碰撞，破坏原来几微米深的分子之间的结合方式，将孔内一定深度的表面物质截断，形成精细的凹凸，同时产生的气体组分成为反应性官能团（或官能团），诱发物质表面发生物理和化学变化，可去除钻孔污垢，提高镀铜结合力。CF4和O
