工件表面的工作油、助焊剂、感光膜、脱模剂、冲头油等污染物迅速氧化成二氧化碳和水，润湿剂提高附着力由真空泵排出，对表面进行清洁润湿，提高结合力。低温等离子发生器只包含原材料的表面，不易影响主要原材料的性能。由于等离子清洗是在高真空下进行的，所以等离子中的各种活性离子具有长的自由度、高的渗透性和渗透性，
