氩是一种无色，激光表面改性英文无味的惰性气体，工业上主要用在电弧焊接和金属材料激光切割保护上，氩是一种惰性气体，所以弱电解质后造成的离子体与基材不产生化学变化。在plasma清洗中，氩用在基材表层的物理学清理和表层粗化。因而，氩等离子清洗机广泛运用于半导体材料、微电子技术、晶圆制造等制造行业。真空等
