厚度对称性的关键在于材料与溅射靶的晶格匹配度、外表面温度、蒸发速率和功率、真空度、镀膜时间和厚度度。晶体取向的排列受以下因素的影响：晶格匹配度、温度和蒸发速率。对于溅射镀膜，激光等离子体教育部重点实验室 张喆林可以简单理解为电子器件或高能激光溅射靶材，表面部分以原子团簇或离子的形式飞溅沉积在衬底表面
