真空等离子体清洗机的通常流程是:首先，漆膜附着力MPa将工件固定在真空室中，通过真空泵等设备启动真空电离到10pa左右;根据工艺要求，将O2、H2、Ar、N2等不同气体及清洗物料引入真空室，压力维持在Pa左右。在真空室中，在电极和接地装置之间施加高频电压，使气体渗透，通过辉光发射使等离子体电离。当等
