(1)激起频率对等离子体的清洗类型有一定影响例如:超声波等离子体(激起频率,温湿度对油墨附着力影响40kHz)的反应大多数是物理反应;微波等离子体(激起频率,2.45GHz)的反应大多数是化学反应;射频等离子体(激起频率,13.56MHz)涉及物理化学双重反应类型。等离子体设备已应用于各种电子元件的