同时，涂膜附着力的测定等离子体的扩散和选择性强，形成的蚀刻剂气相等离子体、M级气孔数量、咬蚀等也可以通过调整工艺技术参数得到有效控制。 使用四氟化碳的注意事项： (1)四氟化碳的混合气体是一种无毒、不易燃的气体，但浓度高时可能会导致窒息死亡和神经麻痹，所以要小心。 (2) 为保证工艺稳定性，等离子清
