四氟化碳是一种无色、无味的混合气体，涂料附着力耐蚀性无毒、不易燃，但在极高浓度下具有麻痹作用，因此工业生产和使用的设备是专用高压气瓶。该阀也是一种特殊的压力调节阀。 C4F 用等离子清洁剂电离后形成含有氢氟酸的腐蚀性气相等离子。等离子清洗剂可以蚀刻和去除各种有机化学表面上的有机化合物，广泛应用于晶圆
