电容耦合蚀刻机的另一个特点是两个电区域不同。在电容耦合等离子体的情况下，室外涂料附着力强吗为什么面积小的电极由于自偏压而具有大的电位差。 2.电感耦合等离子设备：感应耦合等离子体设备是通过向反应室外的电磁线圈施加高频电压来实现的。在反应室中，快速变化的感应磁场将感应感应到反应室中。电场，因此第一个电
