从环境影响、原材料消耗和未来发展等方面来看，涂层附着力不合格的影响湿法清洗具有很大的局限性，而干洗明显优于湿法清洗。其中，等离子清洗发展迅速，优点明显。等离子体是一种电离气体，是诸如电子、离子、原子、分子或自由基等粒子的集合。-清洗半导体材料晶圆的半导体清洗机：在半导体材料的制造过程中，涂层附着力百
