冷等离子体蚀刻过程中，涂层附着力理论是什么学科存在一种副产物和聚合物残留物附着在图形的侧壁上，从而阻止进一步蚀刻过程，同时这些副产物沉积在蚀刻室的内表面，影响了周围环境的进一步反应，使蚀刻速率随着反应时间的变化而变化，导致整个蚀刻过程极不稳定，甚至可能发生蚀刻终止。因此，在室温蚀刻过程中，必须添加额
