弧形等离子体和高频等离子体因其能量高而被称为热等离子体，附着力拉开测定仪用于材料合成、高密度和涂层保护等方面。冷等离子体的温度重粒子只是室内温度,但是电子温度高达成千上万的度,从热平衡状态,所以它特别适合生产电弧放电、辉光放电和其它设备,属于冷等离子体类型。。随着光电工业的快速发展，半导体等微电子工
