等离子体是物质的一种状态，无机涂层的附着力机理是也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。反应室中的气态辉光放电包括离子、电子、自由基等活
