半导体等离子清洗机应用于晶圆清洗等离子清洗具有工艺简单、操作方便、环保无环境污染等优点。等离子清洗机常用于光刻胶去除过程。少量氧气被引入等离子体反应系统。在强电场的作用下，海南小型等离子清洗机哪家好氧气产生等离子体，将光刻胶迅速氧化成挥发性气体，被抽走。等离子清洗机的清洗技术具有操作方便、效率高、表
