地面作为蚀刻掩模分布在整个表面上。可以在蚀刻前进行氢等离子体处理，浙江等离子涂层供应商以防止蚀刻前的二次氧化。用氯中性粒子定义图案，完成深孔蚀刻。该方法还可用于砷化铟镓和砷化镓化合物半导体，以形成具有更高纵横比的孔或沟槽图案。该方法高度依赖温度。温度可以直接影响化学反应的速率，因此温度可以用来控制蚀
