基于物理反应的等离子清洗，浙江低温等离子处理机速率也称为溅射刻蚀（SPE）或离子铣削（IM），其优点是不发生化学反应，清洗表面无氧化物残留，清洗后的物体可以保留。腐蚀纯度和各向异性。缺点是对表面造成很大的损伤。这会导致显着的热效应，降低对洗涤表面上不同物质的选择性，并降低腐蚀速率。基于化学反应的等离
