等离子清洗设备的机理是，流动剂对附着力影响的原因在真空泵情况下，工作压力更加小，分子间距越来越大，分子间距更加小，运用频射源产生的高压交变电场将氧、氩、氢等工艺气体振动成高反应活性和高能离子，与有机污染物和微粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，工作气体流动和真空泵去除这些挥发性物质，实现表面层清洁活化
