主要功能有手动模式/自动模式切换、PID自动调节、自动运行、自动报警功能（相序异常、真空泵异常、真空泵过载、气体报警、放空报警、无功率输出）报警、真空过高报警、真空过低报警等）、实时监控画面、配方管理、密码管理功能。 PLASMA低温等离子处理设备适用于清洗、活化、蚀刻、沉积、接枝和聚合等各种材料的
