此时在平板式的真空腔体的中心存在着准中性的等离子体，油漆附着力好的胶带其电场强度及能量耗散都很低，等离子体两测的鞘层内，电位和电场为振荡型。在平行平板式等离子表面处理系统的真空腔体中，功率密度和电子数密度是对称分布的，鞘层中的电场很强，因而该区域的大量高频功率转换到等离子体的电子上。然而电子在X方向
