该过程通常使用等离子表面调节等离子清洁器的电容耦合等离子蚀刻 (CCP) 模型来执行。与通道通孔蚀刻的工艺要求类似，油漆超强附着力标准是多少接触孔蚀刻需要比逻辑蚀刻工艺更强的偏置功率，通常要高出三倍以上。同时，它采用低频偏置电源提供更长的无离子路径，提高了等离子表面处理机的等离子清洗机将等离子蚀刻到
