等待反应达到去污的目的。在第三阶段，油墨附着力意义O2 用作原始气体，产生的等离子体和反应残渣清洁孔壁。在等离子清洗过程中，除等离子化学反应外，等离子还与材料表面发生物理反应。等离子体粒子敲除材料表面上的原子或附着在材料表面上的原子。这有利于清洁和蚀刻反应。图4显示了有和没有等离子清洗的嵌入孔（孔径
